| 一种显微镜装置，自动对焦控制方法及程序 |
| JP2017196916 2017-10-10 发明申请 |
| 2019-5-9 |
| 在AF控制处理中避免对样品的物镜的碰撞。 [溶液]显微镜1， 以及平台10， 将来自物镜的光放置在样品台上并会聚， 提供聚光透镜21和用于检测来自样品S31的光的光检测器，物镜21和载物台10之间的距离移动以改变聚焦装置60，控制装置40执行自动聚焦控制。 控制装置40， 在沿缩短聚焦装置之间的距离的方向移动期间，第一载物台21160的物镜10， 基于噪声电平计算来自光检测器31的输出信号小于阈值时的聚焦评价值，停止第一聚焦装置60的移动。 图1[附图] |
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