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电子显微镜及其控制方法
US16177634 2018-11-1 发明申请
2019-5-9
一种电子显微镜,包括电子源, 提取从电子源发射的电子束的提取电极; 单色器,具有能量过滤器和能量选择狭缝,所述能量过滤器基于从所述电子源发射的电子束的能量来分散所述电子束,所述能量选择狭缝选择所述电子束的能量, 设置在提取电极和单色器之间的入射侧电极,以及基于施加到提取电极的电压的变化来控制入射侧电极的入射侧电极控制器。
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