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产业专利数据

电子束检测元件，电子显微镜和透射电子显微镜

US16179783 2018-11-2 发明申请

2019-5-9

根据示例性实施例的电子束检测元件包括多个单位单元。所述多个单位单元中的每个单位单元包括雪崩倍增型二极管和多个存储器。雪崩倍增型二极管被配置为检测电子束。多个存储器分别存储不同帧的信号，每个信号从二极管输出。