| 透明晶圆寻心器 |
| WOUS20017882 2020-2-12 发明申请 |
| 2020-9-10 |
| 提供了一种用于定位衬底中心的方法和装置。 衬底定位系统使用可见光源阵列来照明衬底及其边缘。 光源本质上是非激光的，并且通常以可见光谱发射。 光源通常是LED，使得各个元件可以非常迅速地接通或断开，这允许在任何给定的衬底旋转位置使用不同的光源拍摄多个图像。 衬底定位系统还包括图像传感器阵列，该图像传感器阵列具有快速处理数据的能力，这允许观察到的每个像素的数字化(量化)。 算法分析图案的值并确定在衬底的每个旋转角处的真实边缘位置。 本文所述的系统和方法能够定位由不同材料和/或边缘类型组成的各种类型衬底的中心。 |
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