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用于分析材料表面的超光谱显微镜

KR1020190028501 2019-3-13 发明申请

2020-9-23

本发明的实施例涉及用于材料表面分析的波长分辨显微镜。根据本发明实施例的用于材料表面分析的波长分辨显微镜发射预定的光。本发明涉及一种发光器件及其制造方法，更具体地，涉及一种具有预定透射孔的衍射光栅，用于照射预定样品并反射在样品中散射或散射的光。