电子束检测元件,电子显微镜和透射电子显微镜
 
US16180923  2018-11-5  发明申请

2019-5-9
 
  一种电子束检测元件,包括控制单元,所述控制单元被配置为响应于控制信号的信号电平的改变而使二极管从非激活状态转变为激活状态,所述控制信号用于使电子枪从非激活状态转变为激活状态。 状态。
 
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