| 探针，探针的制造方法和扫描探针显微镜系统 |
| WONL18050725 2018-10-31 发明申请 |
| 2019-5-9 |
| 本发明涉及一种用于扫描探针显微镜装置中的探针。 探针包括悬臂和位于悬臂的第一端部的探针尖端。 悬臂被配置为在使用中在垂直于衬底表面的Z方向上弯曲。 悬臂包括颈部和桨部，探针尖端位于桨部上。 所述颈部在其横截面上具有宽度和高度，包括具有矩形横截面的基部。 悬臂至少横跨颈部段的长度包括在远离基部的方向上延伸的脊。 基部和脊部一起限定颈部的宽度和高度， 并且具有这样的尺寸，使得用于在Z方向上弯曲的悬臂的垂直弯曲刚度相对于在横向于Z方向的方向上作用在探针尖端上的力匹配悬臂的横向刚度。 所述文献还描述了一种制造方法。 |
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