| 执行原子力显微镜检查的方法 |
| EP17200014 2017-11-3 发明申请 |
| 2019-5-8 |
| 一种执行原子力显微镜(AFM)测量的方法，使用超声换能器将频率高于1GHz的调制超声波从超声换能器通过样品从样品的底表面发射到样品的顶表面。 从样品顶面的AFM悬臂的振动中检测超声波散射的影响。 在测量开始之前，在超声换能器的顶表面上放置诸如水之类的液体的液滴。 将样品放置在超声换能器的顶表面上，由此将液滴中的液体压入超声换能器的顶表面和样品的底表面之间的液体层中。 优选地，在样品和超声换能器之间施加夹紧力以按压液滴。 AFM测量在液体层的厚度稳定之后开始。 优选地，样品的底表面和超声换能器的顶表面位于盆中，其中在AFM测量期间存在更多的液体样品。 |
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