| 扫描电子显微镜 |
| CN201821691183.6 2018-10-18 实用新型 |
| 2019-5-7 |
| 本实用新型提供一种扫描电子显微镜，包括移动光圈结构，该结构包括：用于调节移动光圈位置的螺旋杆调节机构；移动光圈承载机构，包括支撑架及用于容置移动光圈的承载盒，支撑架具有相对的第一侧及第二侧，第一侧与螺旋杆调节机构密封连接，第二侧具有容置腔，承载盒容置于容置腔内，其中，容置腔的长宽尺寸与承载盒的长宽尺寸适配。通过将移动光圈密封在承载盒内形成整体，如此方便取放，降低了操作难度，减少返工现象，并可快速的完成移动光圈的更换；另外，由于在更换时不需要直接对移动光圈进行操作，降低操作不当时对移动光圈的污染和损伤风险；最后，通过在支撑架上设置容置腔，有效降低操作难度、加快更换操作速度以及提高安装质量。 |
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