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光谱椭圆仪

KR1020180170563 2018-12-27 发明申请

2020-7-7

本发明消除了对入射表面校正处理的需要。一种分光椭圆仪，包括光源，偏振光发生器，偏振光分析器，分光检测器和电机控制单元，其中光源和偏振光发生器通过1个电机同时旋转，并且(2)个电机和(1)-2个电机以相同的角速度同时驱动。