| 高精度紫外双光栅光谱仪同轴度标定方法 |
| CN201810587280.9 2018-6-8 发明申请 |
| 2018-12-7 |
| 本发明公开了一种紫外双光栅光谱仪同轴度标定方法，在信号输入端与准直镜之间位于信号输入端的聚焦点位置设置靶标板，该靶标板设置XY坐标轴并标有刻度，靶标板仅留位于Y向坐标轴位置处一定X向宽度为通光通道，对于待标定的准直镜、第一光栅、第二光栅、聚焦镜、第一反射镜、第二反射镜，在待标定光学器件与其光路相邻的下一个光学器件之间设置标定用反射镜，使光路沿原光路反射，并通过靶标板对待标定光学器件进行标定和同轴度调节。本发明在提高双光栅光谱仪精度的同时，也可以将光谱仪中光栅的同轴度偏移零位变化量进行精确的测量。 |
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