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等离子体室的视窗组件

DE202020101270 2020-3-9 实用新型

2020-7-16

与光谱仪的等离子体室一起使用的观察窗装置(10)，其中所述视窗组件包括：框架元件(13)，至少一个观察窗(131)，包括：第一壳体元件(11)，至少一个第一开口(111)包括：第二壳体元件(12)，至少一个第二开口(121)，包括：第一引导元件(14)和第二引导元件(15)，其中第一壳体元件(11)和第二壳体元件(12)被布置成共同限定用于容纳框架元件(13)的腔室，使得至少一个观察窗(131)。所述至少一个第一开口(111)和所述至少一个第二开口(121)彼此对准，并且其中第一壳体元件(11)和第二壳体元件(12)可移动地连接到导向元件(14)， 15)使得当导向构件相对于壳体构件在第一方向(A)上移动时，第二壳体构件远离第一壳体构件移动以使框架构件能够从腔室移除，以及当导向构件在与第一方向相反的第二方向(B)上相对于壳体构件移动时，所述第二壳体构件朝向所述第一壳体构件移动以将所述壳体构件压靠在所述框架构件上。