| 气体吸收光谱仪 |
| JP2020500330 2019-1-15 发明申请 |
| 2020-12-17 |
| 该气体吸收分光装置具备：波数可变激光光源113； 光检测器114，用于检测从波长可变激光光源发射并通过待测气体的激光束的强度； 以及激光驱动装置112，用于向波数可变激光光源113提供驱动电流，以便在规定的波数范围内重复扫描激光束。 该气体吸收分光装置还具备：压力相关值取得单元117，取得作为被测定气体的压力的值或与该压力同步变化的值的压力相关值； 以及控制装置131，用于控制激光驱动装置112，以便根据压力相关值改变执行扫描的波数范围。 由此，即使在被测定气体的压力变化，需要高速响应性的情况下，也能够在从低压到高压的宽压力范围内进行高精度的测定。 |
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