具有反向反射表面的光谱仪及相关仪器
 
US16536695  2019-8-9  发明申请

2020-2-13
 
  描述了具有紧凑设计的光谱仪的某些方面,配置,实施例和例子。 在一些实施方式中,根据本公开的光谱仪可用于光学发射光谱法(OES)。 这里描述的光谱仪结构和成像器允许单个检测器,紧凑且高通量的光谱仪。 一个或多个方面包括光谱仪中的梯形光栅,其重用光学表面来分离光波长。 例如,在一个或多个方面中,反射式三联体望远镜既作为准直器又作为成像器。 通过重复使用光学部件,可以减小光谱仪的相对尺寸。
 
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