| 多集成尖端扫描探针显微镜 |
| US16219297 2018-12-13 发明申请 |
| 2019-5-2 |
| 使用多个集成尖端扫描探针显微镜来表征样品的装置和系统。 多个集成尖端(MIT)探针由两个或多个单片集成且可移动的AFM尖端组成，所述两个或多个单片集成且可移动的AFM尖端彼此定位在nm内，使得能够在真空或环境条件下具有空前的微到纳米级的探测功能。 尖端结构与电容梳状结构相结合，提供无激光的高分辨率电输入电输出致动和感测能力，以及与结型场效应晶体管的新型集成，用于信号放大和低噪声操作。 这种“片上平台”方法是相对于现有技术的范例转移，该技术基于使用支撑齿轮组功能化的单尖端。 |
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