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透射导模共振光栅集成光谱仪及其制造方法

US16641300 2018-8-16 发明申请

2020-12-10

本发明提供一种透射导模共振光栅集成分光装置(透射GMRG集成分光装置)，其特征在于，包括：透明间隔层；波导层；根据需要提供的透明缓冲层；具有引起表面等离子体激元的厚度的透射金属光栅层；以及根据需要提供的透明保护膜层。