| 用于在带电粒子显微镜中安装样品的低温电池 |
| US16166242 2018-10-22 发明申请 |
| 2019-5-2 |
| 一种在带电粒子显微镜中检查低温样品的方法， 包括 : 将所述样品置于样品架上的低温池中；将带电粒子束从源沿着轴线引导通过照明系统的抽真空的束导管，以便用其照射所述样品的至少一部分；使用检测器来检测从所述光源发出的辐射。 响应于所述辐照，所述样品还包括 : 配置所述电池以包括细长管，所述细长管在所述束导管内延伸到所述照明器系统中并包围所述轴；至少在所述辐照期间将所述管保持在低温。 |
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