芯片上的光谱仪
 
US16279911  2019-2-19  发明申请

2020-8-20
 
  提供了一种具有等离子体过滤器/微透镜装置的光谱仪。 光谱仪可以包括:控制器; 具有由耦合到控制器的多个像素形成的像素阵列的图像传感器; 以及在图像传感器上的光学层。 所述光学层可包括等离子体微透镜阵列,所述等离子体微透镜阵列具有位于所述间隔层上的多个微透镜, 等离子体微透镜阵列的每个微透镜将光聚焦在多个像素中的一个像素上,以及等离子体滤光器阵列,与等离子体微透镜阵列一起布置,使得入射到多个像素中的每个像素上的光具有透射功能。 微透镜和等离子体过滤器可以由复合结构形成。
 
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