| 基于微电机的扫频波长光学元件 |
| US16214544 2018-12-10 发明申请 |
| 2019-6-13 |
| 光谱学是一种广泛用于鉴定材料化学成分和光信号特性的方法。 硅基集成光子学通过微机电系统(MEMS)和微光电机械系统(MOEMS)，硅波导，集成CMOS电子学和用于光增益的化合物半导体元件的混合集成提供了用于许多光学功能的平台。 因此，为诸如利用MOEMS的光谱学和光学断层摄影技术提供先进的光学工具以提供扫频滤波器将是有益的，所述扫频滤波器提供改进的性能，增加的集成，减小的占地面积，降低的功耗，增加的灵活性，可重构性和较低的成本。 另外，这种MOEMS元件可以支持在平面波导域中提供扫描光源，扫描滤波器，扫描接收器等，而无需自由空间光学器件。 |
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