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全包围式椭圆球面镜光路激光诱导击穿光谱仪系统

CN201710678259.5 2017-8-9 发明申请

2017-12-22

本发明涉及全包围式椭圆球面镜全包围式椭圆球面镜光路激光诱导击穿光谱仪系统，包括脉冲激光器、全反射镜、聚焦透镜、样品台、全包围式椭圆球面镜、信号光收集系统和光谱仪，样品台和信号光收集系统位于全包围式椭圆球面镜内侧，样品台和信号光收集系统分别设于全包围式椭圆球面镜的两个焦点处，全包围式椭圆球面镜上设有通孔，样品台位于通孔正下方，聚焦透镜位于通孔正上方，全反射镜用以将脉冲激光器产生的激光全反射给聚焦透镜，聚焦透镜聚焦后的光以垂直于全包围式椭圆球面镜长轴的方向入射到样品台上，光谱仪与信号光收集系统连接。本发明将等离子体各发散角度的信号光进行会聚收集，克服收集角度对信号的影响和单方向收集造成的信号损失，可极大程度上提高信号光收集效率。