| 基于色散共焦的自由曲面非接触式测量系统 |
| CN202010902736.3 2020-9-1 发明申请 |
| 2020-11-24 |
| 基于色散共焦的自由曲面非接触式测量系统涉及自由曲面测量系统技术领域，解决了非接触式检测系统对自由曲面的测量误差大的问题，包括：宽光谱光源、耦合透镜组、半反半透分光镜、聚焦镜组、光阑、光谱测量系统和光谱探测器；被测元件和光阑均位于聚焦镜组的焦点上；宽光谱光源的出射光依次经耦合透镜组汇聚、经半反半透分光镜反射、经聚焦镜组透射、经被测元件反射、经聚焦镜组透射、经半反半透分光镜透射、穿过光阑、经光谱测量系统测量光谱后入射到光谱探测器；经半反半透分光镜反射进入到聚焦镜组的光束经聚焦镜组透射得到不同颜色的聚焦点，聚焦点均位于聚焦镜组光轴上。本发明减小了测量过程中的运动累积误差。减提高了测量效率和测量精度。 |
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