| 光谱仪 |
| WOEP18081970 2018-11-20 发明申请 |
| 2019-5-31 |
| 公开了一种用于测量样品光谱的超薄光谱仪(1)，包括光学层(2)，所述光学层包括微光学元件(10a-10n)，每个微光学元件的输入接受锥小于30°。 所述微光学元件(10a-10n)中的至少一个被配置为提供偏转光束(12a-12n)，所述偏转光束被引导到所述光检测器(52)中的至少一个上； 光谱仪(1)包括至少一个布置在所述微光学元件(10a-10n)阵列(10)和所述多个光电探测器(52)之间的连续形状的窄带滤光元件(40)， 并限定多个不同的滤光部分(40a-40n)，这些滤光部分对于每个所述偏转光束(12a-12n)具有不同的峰值透射波长(lamb1-lambn)。 所述光谱仪的光谱分辨率在其整个光谱宽度内小于50nm。 本发明也可通过一种确定入射光束在本发明光谱仪(1)上的光谱的方法来实现。 |
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