产业集群信息网

产业专利数据

显微镜

DE102017124547 2017-10-20 发明申请

2019-4-25

它是一种具有一个主物镜(5)的显微镜，该主物镜(5)的观察光束路径具有(2)， 3)，具有波前测量装置(11)的第一检测光束路径和第一照明光束路径，第一和第二光学组(13，13)， 14)，在第一和第二光学组(13)之间的一个， 14)设置有具有第二照明光路的第一分束器(20)和设置的照明装置(12)，其中第一检测光束路径是主物镜(5)，所述第一光学组(13)，第一反射元件和第二分光镜作为光学组(14)，并包括主物镜(5)以及第一和第二光学组(13)， 14)的第一检测光束路径形成无焦成像光学器件，其中第一照明光束路径是第一分束器(20)，所述第一光学组(13)，主物镜(5)而不是第二光学组(14)包含波前测量装置，通过第一分束器(20)将照明辐射(11)导向第一光学组，并且其中作为透射构件的第一分束器(20)，第一光学组(13)和主透镜(5)包含第二照明光束路径。