延迟扫描透射电子显微镜装置
 
JP2017189640  2017-9-29  发明申请

2019-4-25
 
  与软吸收样品相比,由于高对比度的相变,CT重建的内部可以是严格的相扫描透射电子显微镜装置。 [溶液]扫描透射电子显微镜的相位差, 电子束垂直于旋转轴线50,用于保持样品台51可控制驱动机构,在杆上游焦平面中,菲涅耳波带板焦平面的焦点被布置成来杆。 因此, 主板包括电子波和参考波探头, 一种会聚光学系统,放置在物镜的样品台上,用于照射样品, 多个可控制的旋转轴向级,用于成像的转子级,通过光束投影ROI穿过样品内部,以通过使用从CT2级获取的投影数据来获取数据量化的重构图像,以获取高对比度。 [附图]图12
 
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