| 注塑微光学器件 |
| US16578827 2019-9-23 发明申请 |
| 2020-1-16 |
| 描述了一种晶片级设备和方法，用于在半导体和其它图像显示装置，背板，光电板和集成光学系统上形成，对准和附接微光学元件的二维阵列的自动化。 在有序的制造顺序中，由光学设计的空腔组成的模板通过反应离子蚀刻或其它工艺形成，任选地涂覆有剥离材料层，并通过自动流体注入和缺陷检查子系统用光学指定的材料填充。 光学对准基准引导所公开的转移和连接过程，以在微光学元件和相应的光电子器件和电路之间实现特定的公差。 本发明应用于光谱滤波器，波导，光纤模式变换器，衍射光栅，折射透镜，衍射透镜/菲涅耳带板，反射器，以及元件和器件的组合，包括用于自适应可调谐元件的微机电系统和液晶器件矩阵。 教导了界面层性能的制备和附着工艺实施例。 |
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