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连续可测光谱椭圆仪

KR1020190050334 2019-4-30 发明申请

2020-11-9

本发明以恒定的角度连续地产生脉冲信号，同时连续地旋转偏振产生模块或检测器模块。本发明涉及一种可连续测量的光谱椭圆仪，其能够通过连续地获取在每个旋转角处的反射光量来连续地获取光谱椭球系数。一种能够测量从样品表面反射的光的偏振态的光谱仪，包括光源，偏振控制模块和触发产生模块。