| 相位差透射电子显微镜 |
| JP2017189662 2017-9-29 发明申请 |
| 2019-4-25 |
| [问题]为了改善可操作性优异的对比度,通过更实用的内部三维断层CT透射电子显微镜对样品所需区域进行相位差CT重建的方法。 [溶液]辐射电子源, 物镜36, 电子束源设置在物镜之间, 保持样品的样品保持器35, 成像光学系统的物镜设置在后面, 成像光学装置对样品进行成像, 作为检测装备有该装置的透射电子显微镜的手段的电子束的强度分布, 所述物镜的焦平面在背面,所述电子束,其方向平行于激光束照射装置的方向,用于将激光束照射到具有1的第二电场。 [附图]图12 |