| 物体内断面变形量测量系统 |
| CN201811419092.1 2018-11-26 发明申请 |
| 2019-3-29 |
| 本发明公开了一种物体内断面变形量测量系统，光源部用于发出相干宽带光，准直调节部用于将光源部发出的光准直并将调节后的光引导入射到干涉部，干涉部用于将光分成照射到被测物的一路光和照射到参考面的一路光，并将由被测物返回的反射光和由参考面返回的反射光汇合而发生干涉；分光聚焦部用于将干涉部出射的干涉光分光形成光谱并聚焦，采集记录部用于采集并记录干涉光光谱，数据处理部用于根据采集记录部记录的干涉光光谱计算出被测物内断面沿深度方向的变形量。本发明物体内断面变形量测量系统基于光学相干层析成像及测量原理，实现了测量物体内断面沿深度方向的变形量。 |
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