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光致力显微镜的闭环频率跟踪和激励及相关技术

WOUS18056947 2018-10-22 发明申请

2019-4-25

一种扫描探针显微镜和操作该显微镜的方法，其中驱动具有显微镜的尖端的悬臂以用于形貌成像的抖动模式振动，并且以通过混合在检测模式激发振动的方式调制照射尖端和样品之间的界面的光源利用抖动模式的振动频率，在操作期间调整光源的调制频率，以保持检测模式的激励跟踪检测模式的谐振频率。