| 一种用于反馈控制显微镜装置(200)的成像系统(220)的焦点位置的显微镜自动聚焦装置(100), 其中成像系统(220)包括显微镜物镜(221), 包括用于产生监测束(111)的监测束源(110), 一种检测装置(120),用于通过感测通过成像系统(220)引导到样品(1)并由样品(1)反射的监测光束(111)来检测显微镜物镜(221)和样品(1)之间的轴向物镜距离的漂移变化, 以及反馈环路装置(130),用于根据所检测的显微镜物镜(221)的物镜距离变化来控制成像系统(220), 其中显微镜-自动聚焦装置(100)包括电可调谐透镜(140),该电可调谐透镜被配置为与显微镜物镜(221)耦合,并且能够通过改变电可调谐透镜(140)的透镜控制输入来调节成像系统(220)的焦点位置, 反馈环路装置(130)根据由检测到的目标距离变化的实际值确定的变化设定点值,通过控制电可调谐透镜(140)的透镜控制输入来控制成像系统(220)的焦点位置 以及透镜控制输入端,通过校准数据将检测器装置输出值分配给物镜距离变化值和透镜控制输入值。 此外,本发明还描述了一种包括所述微透镜-自动聚焦装置(100)的显微镜装置(200),用于操作所述显微镜装置的自动聚焦控制方法和显微镜方法。 |