| 一种用于原子力显微镜的长距离精确微纳操作的方法 |
| CN201910142246.5 2019-2-26 发明申请 |
| 2019-4-23 |
| 本发明涉及微纳科学与技术研究中的精密仪器领域，具体涉及一种用于原子力显微镜的长距离精确微纳操作的方法。本发明提出并实现了用于原子力显微镜的长距离精确微纳操作的方法，来改进原子力显微镜在长距离微纳操作过程中操作目标丢失或者操作误差过大的问题。本发明的直接效果在于能够克服微纳操作过程中操作对象丢失或操作误差过大的问题，实现长距离精确微纳操作。通过快速追踪操作目标位置和精确控制操作目标的位移，直至操作对象与操作目标完全重合。采用本发明方法进行压缩采样的成像时间只要传统原子力显微镜的“栅格”扫描成像时间的1/3，显著提高成像效率及微纳操作的操作效率，也为实现微纳功能结构和微纳机器人的精确装配与制造提供新的方法。 |
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