| 分光镜 |
| JP2019085206 2019-4-26 发明授权 |
| 2020-9-23 |
| 本发明提供一种分光镜,该分光镜能够抑制检测精度的降低并小型化。该分光镜包括:光检测单元,该光检测单元包括盖,并具有光通道部分和光检测部分; 支撑光检测单元的支架; 第一反射部,其设置在所述支撑件中,并且在空间中反射已经通过所述光通道部的光; 分光部,其设置在光检测部中,对由第一反射部反射的光进行分光,并对光进行反射; 以及第二反射部分,其设置在所述支撑件中,并将所述光谱色散和反射的光反射到所述空间中的所述光检测部分。 所述支撑件包括:基壁部分,其通过所述空间面对所述光通道部分和所述光检测部分;以及侧壁部分,所述光检测单元固定到所述侧壁部分。 当从入射方向观察时,侧壁部分在通过光通道部分的光的入射方向上的高度大于基壁部分的与侧壁部分重叠的部分处的厚度。 |