| 一种集成光栅反射结构的光探测器 |
| CN201910171483.4 2019-3-7 发明申请 |
| 2020-9-15 |
| 本申请公开了一种集成光栅反射结构的光探测器，包括：衬底和设于所述衬底上的主动层，所述衬底与所述主动层之间设有光栅结构；所述衬底临近所述光栅结构的位置形成有第一掺杂区；所述主动层远离所述光栅结构的表层形成有第二掺杂区；所述第二掺杂区与所述第一掺杂区的掺杂类型不同。本申请在衬底与主动层之间集成了光栅反射结构，具有近全反射的效果和较宽的吸收光谱范围，以及更大的光接收角度，在提升了带宽的同时也提高了光响应度。 |
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