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光谱自校准光栅以及光谱仪
TW108105032 2019-2-15 发明授权
2019-11-21
一种光谱自校准光栅,其包括微型光栅以及校正记号微型光栅以及校正记号被光束照射後分别在成像面上形成绕射图案以及校正图案依据绕射图案以及校正图案之间的距离,校正绕射图案的光谱另提供一种使用光谱自校准光栅的光谱仪
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