产业专利数据
 
多层衍射光栅
 
JP2019022387  2019-2-12  发明申请
2020-8-27
 
  [A]可以容易地制造具有高衍射效率的软X射线衍射光栅。 [解决方案]电磁波(电磁波光谱试验)对软X射线的全反射条件不进入表面材料的内部深处的区域， 例如在由两种物质组成的多层膜上作为反射膜的金属膜通常使用碱性反射材料，以通过产生包括波长在内的宽波长范围来提高衍射效率。 图2[图]
 
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