| 在光谱仪中使用的等离子体源室及光谱仪 |
| CN202020277227.1 2020-3-9 实用新型 |
| 2020-8-25 |
| 本实用新型提供一种在光谱仪中使用的等离子体源室，包含用于容纳等离子体源的内壳体和容纳所述内壳体的外壳体。所述外壳体包含在第一壁中的至少一个外进气口开口以及在第二壁中的至少一个外排气口开口。所述内壳体的壁和所述外壳体的壁界定了间隙，从而允许第一空气流穿过所述内壳体和所述外壳体之间的所述间隙从所述至少一个外进气口开口到所述至少一个外排气口开口。所述内壳体包含在第一壁中的至少一个内进气口开口以及在第二壁中的至少一个内排气口开口，以允许第二空气流穿过所述内壳体从所述至少一个内进气口开口到所述至少一个内排气口开口。因此，实现了对等离子体源室外表面的改进冷却。本实用新型还提供一种光谱仪。 |
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