| 一种紧凑型大范围的真空紫外光谱仪 |
| RU2017125698 2017-7-18 发明授权 |
| 2018-7-19 |
| 领域 : 仪表工程的物质。本发明涉及一种分析仪器，涉及一种紧凑型大范围的真空紫外(VUV)软X射线光谱仪(sx)的范围内。具有狭缝的光谱仪，它由本体，远程辐射源，衍射光栅和探测器。辐射源照射在滑动角度θ的衍射光栅。衍射光栅具有恒定周期D具有平面的反射式有源面，其特征是所述的光栅平面之间具备凹部和不反射的光活性面。VUV光谱检测器提供的注册在±第一，±第一衍射级中，长波长线路(λ±1的许多倍的第一阶光谱工作区小于thespectrum的长波长线路(λ#-[-1±第一的工作区域依次进行 : λ1<λ<-1，所述光谱分辨率(λ/δλ)+1上的第一阶光谱工作区中的许多倍δλ比光谱分辨率(λ/第一)-1中的光谱工作区顺序 : (λ/δλδλ)>>(λ/+1)-1。效果 : 本发明的技术效果是在宽光谱范围内的光谱检测–(3200)，具有中等光谱分辨率(λ/δλ–30~15)和高得多的光谱分辨率(λ/δλ~200)中的软X射线或远紫外区，能够测量绝对这些光谱区中的辐射率并减小其尺寸的spectrometer.21Cl，6的双层管 |
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