产业集群信息网

产业专利数据

具有离子柱和扫描电子显微镜的装置

EP18195473 2018-9-19 发明申请

2019-4-10

一种具有离子柱和扫描电子显微镜的装置，包括至少一个置于离子柱内或离子柱上的信号电子的柱检测器。在扫描电子显微镜产生的宽束落在样品表面期间，在柱检测器上检测在样品上产生的信号。