| 单块配置的光谱仪 |
| US16425685 2019-5-29 发明申请 |
| 2019-12-5 |
| 一种光谱仪，包括第一孔径限制装置， 第二孔径限制装置， 第一镜子， 一种可移动的MEMS反射镜， 和在空间上与MEMS反射镜分离的色散元件， 可移动的MEMS反射镜相对于色散元件是可移动的， 所述可移动MEMS反射镜与所述第一孔径限制装置中的至少一个整体地构造为公共部件， 所述第二孔径限制装置和所述色散元件以及所述第一和第二孔径限制装置被布置成在空间上与所述可移动MEMS反射镜分离并且具有与所述可移动MEMS反射镜的旋转轴线的横向偏移。 |
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