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产业专利数据

1 科学仪器产业专利
2 动物模型与化药新药专利
3 骨诱导再生材料专利
4 生物医药产业抗体药物专利

基于二维可变线间距光栅的光谱仪

WOSG18050627 2018-12-21 发明申请

2019-6-27

本发明涉及一种包括二维探测器和二维光栅的光谱仪。二维检测器适于同时捕获较低分辨率宽范围(LRBR)和较高分辨率宽范围(HRBR)内的多个光谱。二维光栅具有凹槽密度和周期函数可变的凹槽。凹槽密度G(z)和周期函数D(y，z)适于将入射EUV/X射线源从狭缝聚焦到二维探测器上，其中z是沿着凹槽的方向，y是穿过凹槽的方向。