| 共焦位移计 |
| JP2020070853 2020-4-10 发明申请 |
| 2020-7-9 |
| 本发明提供一种共焦位移计，其能够适应各种物体，并且能够提高共焦位移计的测量精度。 多个检测光产生波长为来自[解决方案]DL投影光源的光， 射向透镜的光具有被检测到的检测对象DL， 用共焦光学系统11DL检测光产生的轴向色差， 被物体反射后， 通过共焦光学系统的光谱仪24和11的反射光， 光谱反射光接收元件2或接收信号产生， 基于光检测信号， 从所获取的波形中光强分布成为接收距离的波形获取装置， 基于接收波形的形状， 构成用于估计地波基部，该基部并基于该波形接收波形的波形估计装置，该波形估计装置用于基于信号波形计算距距离计算装置的目标距离的信号波形计算装置的信号波形。 图5[附图] |
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