| 扫描电子显微镜 |
| WOJP17035499 2017-9-29 发明申请 |
| 2019-4-4 |
| 本发明提供一种不使用减速方法的扫描电子显微镜，该扫描电子显微镜抑制由BSE激发的Se3的检测量，并且具备对样品上产生的Se1的能量选择/检测功能。 扫描电子显微镜具有 : 电子光学系统，其具有用于产生照射电子束的电子源(21)和用于将照射电子束聚焦在样品上的物镜(12)； 探测器(13)，设置在电子光学系统的光轴外部，并探测通过用照射电子束照射样品而产生的信号电子； 偏转电极，用于形成用于将信号电子引导到检测器的偏转场(26)； 圆盘状电极(23)，从偏转场配置在电子源侧，具有使照射的电子束通过的开口部； 以及控制电极，其从偏转场沿着光轴设置在样品侧。 将样品和物镜设置为参考电位。 将低于参考电位的电位施加到盘状电极。 将高于参考电位的电位施加到控制电极。 |
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