| 用于测量绝对长度的干涉测量系统 |
| WORU18000851 2018-12-24 发明申请 |
| 2020-7-2 |
| 本发明涉及测量测试技术领域，尤其涉及一种用于测量直线尺寸的干涉测量技术，可用于绝对长度和距离的测量。 所提出的技术解决方案解决了在动态条件下测量(被测长度的变化)时提高绝对长度测量的精确度的问题，同时提供了无限高的可用测量范围。 该问题的解决在于，在用于测量绝对长度的干涉测量系统中，该干涉测量系统包括激光源，该激光源用于产生具有由两个分量组成的光谱的辐射，以允许所述分量的频率差的变化， 和参考双路干涉仪， 所述参考双路干涉仪中的光学系统被设计为使得激光源的辐射的两个光谱分量， 分别从激光源到达参考双路干涉仪，在干涉仪的路径中以相互相反的方向传播，并且具有分开的入口和分开的出口。 因此，所提出的用于测量绝对长度的干涉测量系统的技术结果是提高精度，同时保持对由于外部和内部因素导致的被测量长度的动态变化的足够的抵抗力，并且提供无限高的可用测量范围。 |
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