| 用于扫描探针显微镜系统的Z-位置运动台，扫描头和制造方法 |
| EP17194366 2017-10-2 发明申请 |
| 2019-4-3 |
| 本发明涉及一种用于扫描探针显微镜系统中的Z-位置运动台。 平台包括用于将Z位置运动平台安装在扫描头上的支撑元件，以及安装在支撑元件上用于使扫描探针显微镜系统的探针能够运动的至少一个第一致动器。 探头连接到Z位置运动台或可连接到Z位置运动台。 所述支撑元件和所述至少一个第一致动器被成形和安装成形成旋转对称元件，所述旋转对称元件围绕假想的公共纵轴线旋转对称。 本发明还涉及一种扫描头，一种制造Z-位置运动台的方法和一种用这种方法获得的Z-位置运动台。 |
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