| 光束扫描显微光谱仪及工艺 |
| FR18073992 2018-12-21 发明申请 |
| 2020-6-26 |
| 本发明涉及一种用于光束扫描显微光谱法的设备，包括显微镜物镜(5)和用于移动激发光束(10)的移动系统(100)。 根据本发明， 用于移动激发光束(10)的移动系统(100)包括第一聚焦光学部件(M1)， L1)适于将激发光束(10)聚焦在中间焦平面(20)中， 另一个聚焦光学部件(MB， L3)适于在焦平面(51)中形成中间焦平面(20)的图像， 在第1光学部件(M1)和第2光学部件(M2)之间设置1个扫描镜(M2)， L1)和中间焦平面(20)， 扫描镜(M2)被安装在一个板上，该板的取向是可调节的，以便在显微镜物镜的物焦平面(51)或像焦平面(52)中在两个横向方向上移动聚焦点(61，62)的图像。 |
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