| 显微角分辨光谱测量系统 |
| CN201921133539.9 2019-7-18 实用新型 |
| 2020-6-16 |
| 本实用新型公开了一种显微角分辨光谱测量系统,包括:外界光源、入光针孔、用于将外界光源的光引导至入光针孔的入光光纤、第一分光镜、可平移的第一透镜组件、物镜、第二分光镜、第一出光快门、第一出光针孔、可平移的第二透镜组件、第二出光快门、第二出光针孔、Y型光纤和光谱仪;显微角分辨光谱测量系统具有通过移动第一透镜组件实现不同角度的入射光对被测样品表面同位置的显微角分辨光谱测量的入射光角度调节测量模式和通过移动第二透镜组件实现被测样品发出的不同角度的光谱信息的显微角分辨光谱测量的接收光角度调节测量模式。本实用新型的有益之处在于,不需要移动光纤和针孔,系统稳定性高,仅用一台光谱仪实现两种角度模式的测量。 |