| 透射电子显微镜及其图像校正方法 |
| KR1020170153127 2017-11-16 发明授权 |
| 2019-4-2 |
| 按照一个实施例的装置是透射电子显微镜，产生电子束的电子枪； 所述电子枪电子束从照明光学系统照射样品； 固定所述样品架，所述样品架具有可移动的样品台； 对传输到所述电子束主物镜的信号进行采样； 所述物镜电子束下端和成像光学系统； 所述成像光学系统将通过电子束辐射可见的用户数量转换为样品图像的辐射。 荧光屏； 收集转换成所述荧光屏可视成像装置的所述样品图像； 所述成像装置参考感兴趣区域并且可以指定图像采集的样本参考图案输入单元； 所述成像装置基于所述参考模式采集的样本图像模式识别执行图像校正次数控制单元； 并且所述数字在显示控制部分中可以输出校正后的图像。 |
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