| 一种用于扫描探针显微镜的扫描力显微镜悬臂 |
| DE102018105756 2018-3-13 发明授权 |
| 2019-3-28 |
| 本发明涉及一种用于扫描探针显微镜的悬臂(14)， 尤其是一种扫描力显微镜(10)， (b)具有基体(20)， 主体部分(44)， (s)用于固定到扫描探针显微镜的自由端(46)处的固定部分在相对端处具有头部(32)，该头部(32)包括尖端(B)和(34)，该尖端和用于扫描从头部延伸离开的被检查对象。 按照本发明， 基体(碳)(20)具有颈部(42)， 与主体部分(44)和头部相邻的颈部扭转刚度连接到主体部分(32)并且与颈部扭转刚度相邻并且(e)颈部扭转刚度至多相当于主体部分(44)的主体部分扭转刚度的十分之一。 |
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