| 一种垂直外腔面发射激光器 |
| CN201911276498.3 2019-12-12 发明申请 |
| 2020-6-2 |
| 本申请公开了一种垂直外腔面发射激光器，包括准直透镜；位于准直透镜第一侧的激光器发射芯片，激光器发射芯片包括由下至上依次层叠的设有第一出光口的第一电极、第一接触层、有源层、第二接触层、设有第二出光口的第二电极，且第一出光口位于准直透镜第一侧的焦面上；位于准直透镜第二侧的衍射光栅，第一侧与第二侧相背；位于激光器发射芯片远离准直透镜一侧的第一顶腔镜或者位于激光器发射芯片中的第二顶腔镜。衍射光栅具有很宽的调谐范围，可提供较平坦的一阶衍射效率，从而充分地覆盖激光器发射芯片有源层的增益谱范围，使波长调谐范围为增益谱范围，波长调谐范围变宽，且垂直外谐振腔使增益谐振腔腔长增加，光谱线宽变窄。 |
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