| 校准扫描探针显微镜的方法 |
| JP2017174299 2017-9-11 发明申请 |
| 2019-3-28 |
| [问题]一种用于校准扫描探针显微镜的方法，可以在抑制探针磨损的同时执行适当的校准。 [解决方案]校准扫描探针显微镜的方法， 悬臂(A)的固定端取样， 仅通过沿轴向Z的相对运动， 所述样品探针压靠在所述倾斜表面上， (b)(a)工艺探头在轴向上的扭转斜率和Z向扭转斜率抵抗悬臂弯曲偏转时引起的关于获得与悬臂有关的信息的工艺的扭转， (c)斜面的倾斜角， 在步骤(a)中悬臂的固定端在样品相对移动距离的轴向Z上， 以及(b)基于在步骤中获得的信息，提供偏转和扭转信息，从扭转过程中计算在轴向X上作用在斜面上的水平力之间的转换系数。 图2[附图] |
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